3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學(xué)檢測）是對傳統(tǒng)精密加工上的升級，彌補(bǔ)了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進(jìn)設(shè)備性能以滿足各大電子廠對質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。

中圖儀器基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 光學(xué)3d輪廓儀，能以非接觸的方式，無損檢測精密機(jī)械加工表面；檢測結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，直觀地展示了表面紋理特征。

光學(xué)系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)楣鈱W(xué)3D表面輪廓儀。除了負(fù)責(zé)產(chǎn)生干涉條紋，各類干涉物鏡還決定了系統(tǒng)許多關(guān)鍵性能，比如光學(xué)分辨率、工作距離、齊焦距離、坡度能力、視場范圍等等。數(shù)秒內(nèi)，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。

SuperView W1 光學(xué)3d輪廓儀特征

1、高垂直分辨率，強(qiáng)大的測量性能；

3、任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程；?

4、*的測量硬件，可靠性和重復(fù)性的保證；防振系統(tǒng)；?

5、提高三維表面測量和分析速度數(shù)據(jù)處理速度和分析速度的多核處理器軟件；

6、數(shù)據(jù)無縫拼接能力；

7、三維光學(xué)輪廓儀高度直觀的用戶界面，擁有業(yè)界的實用性，操作簡便和分析功能強(qiáng)大優(yōu)化的用戶界面大大簡化測量和數(shù)據(jù)分析過程；*的可視化操作工具；可自行設(shè)置數(shù)據(jù)輸出的界面，微納米三維形貌一鍵測量。

技術(shù)指標(biāo)

標(biāo)準(zhǔn)配置

中圖儀器，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐，除了Super View系列白光干涉儀，還有SJ2000系列指示表自動檢定儀、SJ5100系列高精度測長機(jī)、SJ6000系列激光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀等眾多測量、計量設(shè)備。從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案！